Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究

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Material Type: 図書
Title: Si系超格子デバイス作製のための原子制御CVD装置の開発研究
Title Transcription: Si ケイチョウコウシデバイスサクセイノタメノゲンシセイギョ CVD ソウチノカイハツケンキュウ
Author/Editor: 室田, 淳一, 東北大学
Author Heading: 室田, 淳一ムロタ, ジュンイチ
Publication Date: 1995-1997
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 原子制御CVD装置ゲンシセイギヨCVDソウチ
Si系超格子デバイス SIケイチヨウコウシデバイス
瞬時加熱CVD法シユンジカネツCVDホウ
プラズマ表面処理プラズマヒヨウメンシヨリ
極微細デバイスキヨクビサイデバイス
不純物ドーピングフジユンブツドーピング
W低温選択成長 Wテイオンセンタクセイチヨウ
Langmuir型吸着 LANGMUIRガタキユウチヤク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555409
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555409
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007004927
http://id.ndl.go.jp/bib/000007004927
Bibliographic Record Category (NDL): 214