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高出力半導体レーザを用いたニユーメデイア対応回路板上ナノメータ不純物検出装置

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高出力半導体レーザを用いたニユーメデイア対応回路板上ナノメータ不純物検出装置

国立国会図書館請求記号
Y151-H07555427
国立国会図書館書誌ID
000007004944
資料種別
図書
著者
秋山, 伸幸, 長岡技術科学大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
コウシュツリョク ハンドウタイ レーザ オ モチイタ ニユーメデイア タイオウ カイロバン ジョウ ナノメータ フジュンブツ ケンシュツ ソウチ
著者・編者
秋山, 伸幸, 長岡技術科学大学
著者標目
秋山, 伸幸 アキヤマ, ノブユキ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
微粒子検出 ビリユウシケンシユツ
液晶表示素子 エキシヨウヒヨウジソシ
TFT-LCD TFT-LCD
不純物検出 フジユンブツケンシユツ
半導体レーザ ハンドウタイレーザ
散乱光検出 サンランコウケンシユツ
ニユーメデイア ニユーメデイア