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高出力半導体レーザを用いたニユーメデイア対応回路板上ナノメータ不純物検出装置

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高出力半導体レーザを用いたニユーメデイア対応回路板上ナノメータ不純物検出装置

Call No. (NDL)
Y151-H07555427
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004944
Material type
図書
Author
秋山, 伸幸, 長岡技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウシュツリョク ハンドウタイ レーザ オ モチイタ ニユーメデイア タイオウ カイロバン ジョウ ナノメータ フジュンブツ ケンシュツ ソウチ
Author/Editor
秋山, 伸幸, 長岡技術科学大学
Author Heading
秋山, 伸幸 アキヤマ, ノブユキ
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
微粒子検出 ビリユウシケンシユツ
液晶表示素子 エキシヨウヒヨウジソシ
TFT-LCD TFT-LCD
不純物検出 フジユンブツケンシユツ
半導体レーザ ハンドウタイレーザ
散乱光検出 サンランコウケンシユツ
ニユーメデイア ニユーメデイア