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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- マイクロ/ナノスケール ホウデン プラズマ ハッセイ ソウチ ノ シサク ト ソノ ザイリョウ プロセシング ヘ ノ オウヨウ
- 著者・編者
- 寺嶋, 和夫, 東京大学
- 著者標目
- 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )典拠
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 試験研究(B)
- 件名標目
- マイクロ・プラズマ マイクロ・プラズマナノスケール・プラズマ ナノスケール・プラズママルチプローブ マルチプローブプラズマ環境STM プラズマカンキヨウSTMプラズマエツチング プラズマエツチング