マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用

• Material Type: 図書
• Title: マイクロ/ナノスケール放電プラズマ発生装置の試作とその材料プロセシングへの応用
• Title Transcription: マイクロ/ナノスケール ホウデン プラズマ ハッセイ ソウチ ノ シサク ト ソノ ザイリョウ プロセシング ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 寺嶋, 和夫, 東京大学
• Author Heading: 寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )Authorities
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: マイクロ・プラズマ マイクロ・プラズマ; ナノスケール・プラズマ ナノスケール・プラズマ; マルチプローブ マルチプローブ; プラズマ環境STM プラズマカンキヨウSTM; プラズマエツチング プラズマエツチング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555513
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555513
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007005021; http://id.ndl.go.jp/bib/000007005021
• Bibliographic Record Category (NDL): 214