省電力型高精度・高速レーザスキヤナの試作

• 資料種別: 図書
• タイトル: 省電力型高精度・高速レーザスキヤナの試作
• タイトルよみ: ショウ デンリョクガタ コウセイド ・ コウソク レーザスキヤナ ノ シサク
• 著者・編者: 吉本, 成香, 東京理科大学
• 著者標目: 吉本, 成香 ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )典拠
• 出版年月日等: 1995-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 試験研究(B)
• 件名標目: 動圧軸受 ドウアツジクウケ; レーザスキヤナ レーザスキヤナ; 真空ポンプ シンクウポンプ; 省電力 シヨウデンリヨク; ポンピング効果 ポンピングコウカ; 溝付軸受 ミゾツキジクウケ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07555632
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07555632
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007005124; http://id.ndl.go.jp/bib/000007005124
• 整理区分コード: 214