省電力型高精度・高速レーザスキヤナの試作

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Material Type: 図書
Title: 省電力型高精度・高速レーザスキヤナの試作
Title Transcription: ショウデンリョクガタコウセイド・コウソクレーザスキヤナノシサク
Author/Editor: 吉本, 成香, 東京理科大学
Author Heading: 吉本, 成香ヨシモト, シゲカ ( 00934213 )Authorities
Publication Date: 1995-1997
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 動圧軸受ドウアツジクウケ
レーザスキヤナレーザスキヤナ
真空ポンプシンクウポンプ
省電力シヨウデンリヨク
ポンピング効果ポンピングコウカ
溝付軸受ミゾツキジクウケ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555632
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555632
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007005124
http://id.ndl.go.jp/bib/000007005124
Bibliographic Record Category (NDL): 214