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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- デンシ ビームリソグラフイヨウ シン トウメイ デンシ デンドウセイ サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ トクセイ ヒョウカ
- 著者・編者
- 細野, 秀雄, 岡崎国立共同研究機構
- 著者標目
- 細野, 秀雄, 1953- ホソノ, ヒデオ, 1953- ( 00991649 )典拠
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)