電子ビームリソグラフイ用新透明電子伝導性酸化物薄膜の作製とその特性評価

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Material Type: 図書
Title: 電子ビームリソグラフイ用新透明電子伝導性酸化物薄膜の作製とその特性評価
Title Transcription: デンシビームリソグラフイヨウシントウメイデンシデンドウセイサンカブツハクマクノサクセイトソノトクセイヒョウカ
Author/Editor: 細野, 秀雄, 岡崎国立共同研究機構
Author Heading: 細野, 秀雄, 1953- ホソノ, ヒデオ, 1953- ( 00991649 )Authorities
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 透明導電体トウメイドウデンタイ
透明導電性酸化物トウメイドウデンセイサンカブツ
アモルフアス半導体アモルフアスハンドウタイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555668
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555668
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007005158
http://id.ndl.go.jp/bib/000007005158
Bibliographic Record Category (NDL): 214