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ヘリコン波放電型酸素・フツ素負イオン源の開発

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ヘリコン波放電型酸素・フツ素負イオン源の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H07558178
国立国会図書館書誌ID
000007005813
資料種別
図書
著者
門田, 清, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1995-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ヘリコンハ ホウデンガタ サンソ ・ フツソフイオン ゲン ノ カイハツ
著者・編者
門田, 清, 名古屋大学
著者標目
門田, 清 カドタ, キヨシ
出版年月日等
1995-1997
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
負イオン フイオン
酸素 サンソ
フツ素 フツソ
ヘリコン波放電 ヘリコンハホウデン
飛行時間型質量分析法 ヒコウジカンガタシツリヨウブンセキホウ
静電プローブ セイデンプローブ
レーザー光脱離法 レーザーコウダツリホウ
発光分光計測法 ハツコウブンコウケイソクホウ