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ヘリコン波放電型酸素・フツ素負イオン源の開発

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ヘリコン波放電型酸素・フツ素負イオン源の開発

Call No. (NDL)
Y151-H07558178
Bibliographic ID of National Diet Library
000007005813
Material type
図書
Author
門田, 清, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ヘリコンハ ホウデンガタ サンソ ・ フツソフイオン ゲン ノ カイハツ
Author/Editor
門田, 清, 名古屋大学
Author Heading
門田, 清 カドタ, キヨシ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(A)
Subject Heading
負イオン フイオン
酸素 サンソ
フツ素 フツソ
ヘリコン波放電 ヘリコンハホウデン
飛行時間型質量分析法 ヒコウジカンガタシツリヨウブンセキホウ
静電プローブ セイデンプローブ
レーザー光脱離法 レーザーコウダツリホウ
発光分光計測法 ハツコウブンコウケイソクホウ