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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シンガタ マイクロハ モード オ モチイタ ダイ メンセキ ハクマク セイゾウ ソウチ
- 著者・編者
- 河合, 良信, 九州大学
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- マイクロ波 マイクロハ大口径プラズマ ダイコウケイプラズマECRプラズマ ECRプラズママルチスロツトアンテナ マルチスロツトアンテナシランガス シランガス反応性ガス ハンノウセイガスアモルフアスシリコン アモルフアスシリコンマイクロ波伝播特性 マイクロハデンパトクセイ