新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置

• Material Type: 図書
• Title: 新型マイクロ波モードを用いた大面積薄膜製造装置
• Title Transcription: シンガタ マイクロハ モード オ モチイタ ダイ メンセキ ハクマク セイゾウ ソウチ
• Author/Editor: 河合, 良信, 九州大学
• Author Heading: 著者 ： 河合, 良信, 1941- カワイ, ヨシノブ, 1941- ( 00354346 )Authorities; 九州大学 キュウシュウ ダイガク ( 00260072 )Authorities
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: マイクロ波 マイクロハ; 大口径プラズマ ダイコウケイプラズマ; ECRプラズマ ECRプラズマ; マルチスロツトアンテナ マルチスロツトアンテナ; シランガス シランガス; 反応性ガス ハンノウセイガス; アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; マイクロ波伝播特性 マイクロハデンパトクセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07558180
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07558180
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007005815; http://id.ndl.go.jp/bib/000007005815
• Bibliographic Record Category (NDL): 214