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極紫外域(60nm-20nm)における高反射率多層膜鏡の開発

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極紫外域(60nm-20nm)における高反射率多層膜鏡の開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H07559002
国立国会図書館書誌ID
000007005921
資料種別
図書
著者
渡辺, 誠, 東北大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ゴク シガイイキ(60nm-20nm) ニ オケル コウハンシャリツ タソウマクキョウ ノ カイハツ
著者・編者
渡辺, 誠, 東北大学
著者標目
渡辺, 誠 ワタナベ, マコト
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
極紫外光 キヨクシガイコウ
真空紫外光 シンクウシガイコウ
ヘリウム共鳴線 ヘリウムキヨウメイセン
多層膜鏡 タソウマクキヨウ
反射鏡 ハンシヤキヨウ
反射率 ハンシヤリツ
超薄膜 チヨウハクマク
光学定数 コウガクテイスウ