極紫外域(60nm-20nm)における高反射率多層膜鏡の開発

• Material Type: 図書
• Title: 極紫外域(60nm-20nm)における高反射率多層膜鏡の開発
• Title Transcription: ゴク シガイイキ(60nm-20nm) ニ オケル コウハンシャリツ タソウマクキョウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 渡辺, 誠, 東北大学
• Author Heading: 渡辺, 誠 ワタナベ, マコト
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(A)
• Subject Heading: 極紫外光 キヨクシガイコウ; 真空紫外光 シンクウシガイコウ; ヘリウム共鳴線 ヘリウムキヨウメイセン; 多層膜鏡 タソウマクキヨウ; 反射鏡 ハンシヤキヨウ; 反射率 ハンシヤリツ; 超薄膜 チヨウハクマク; 光学定数 コウガクテイスウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07559002
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07559002
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007005921; http://id.ndl.go.jp/bib/000007005921
• Bibliographic Record Category (NDL): 214