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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- In,P カゴウブツ オ モチイル MOCVD,ALE ニ オケル ヒョウメン ハンノウ キソ カテイ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 福田, 安生, 静岡大学
- 著者標目
- 福田, 安生 フクダ, ヤスオ
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 表面反応 ヒヨウメンハンノウ化合物半導体薄膜 カゴウブツハンドウタイハクマク薄膜形成機構 ハクマクケイセイキコウ昇温脱離 シヨウオンダツリ走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ電子分光 デンシブンコウアルキルフオスフイン アルキルフオスフイントリエチルインジウム トリエチルインジウム