In,P化合物を用いるMOCVD,ALEにおける表面反応基礎過程の研究

• Material Type: 図書
• Title: In,P化合物を用いるMOCVD,ALEにおける表面反応基礎過程の研究
• Title Transcription: In,P カゴウブツ オ モチイル MOCVD,ALE ニ オケル ヒョウメン ハンノウ キソ カテイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 福田, 安生, 静岡大学
• Author Heading: 福田, 安生 フクダ, ヤスオ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 表面反応 ヒヨウメンハンノウ; 化合物半導体薄膜 カゴウブツハンドウタイハクマク; 薄膜形成機構 ハクマクケイセイキコウ; 昇温脱離 シヨウオンダツリ; 走査トンネル顕微鏡 ソウサトンネルケンビキヨウ; 電子分光 デンシブンコウ; アルキルフオスフイン アルキルフオスフイン; トリエチルインジウム トリエチルインジウム
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07640770
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07640770
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007006743; http://id.ndl.go.jp/bib/000007006743
• Bibliographic Record Category (NDL): 214