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分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

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分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07650002
国立国会図書館書誌ID
000007006857
資料種別
図書
著者
倉林, 徹, 東北大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
倉林, 徹, 東北大学
著者標目
倉林, 徹 クラバヤシ, トオル
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
分子層成長 ブンシソウセイチヨウ
流量制御システム リユウリヨウセイギヨシステム
マイクロバルブ マイクロバルブ
コルゲーシヨンダイヤフラム コルゲーシヨンダイヤフラム
エツチストツプ エツチストツプ
共晶接合 キヨウシヨウセツゴウ
ベーカブル ベーカブル
微小流量 ビシヨウリユウリヨウ