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分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

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分子層成長用流量制御システムの試作とその応用に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07650002
Bibliographic ID of National Diet Library
000007006857
Material type
図書
Author
倉林, 徹, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ブンシソウ セイチョウヨウ リュウリョウ セイギョ システム ノ シサク ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
倉林, 徹, 東北大学
Author Heading
倉林, 徹 クラバヤシ, トオル
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
分子層成長 ブンシソウセイチヨウ
流量制御システム リユウリヨウセイギヨシステム
マイクロバルブ マイクロバルブ
コルゲーシヨンダイヤフラム コルゲーシヨンダイヤフラム
エツチストツプ エツチストツプ
共晶接合 キヨウシヨウセツゴウ
ベーカブル ベーカブル
微小流量 ビシヨウリユウリヨウ