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プラズマCVDによるダイヤモンド状薄膜被覆材の摩擦・摩耗特性の評価

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プラズマCVDによるダイヤモンド状薄膜被覆材の摩擦・摩耗特性の評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H07650105
国立国会図書館書誌ID
000007006908
資料種別
図書
著者
村上, 理一, 徳島大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
プラズマ CVD ニ ヨル ダイヤモンドジョウ ハクマク ヒフクザイ ノ マサツ ・ マモウ トクセイ ノ ヒョウカ
著者・編者
村上, 理一, 徳島大学
著者標目
村上, 理一 ムラカミ, リイチ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
プラズマCVD プラズマCVD
イオンプレーテイング イオンプレーテイング
セラミツク薄膜 セラミツクハクマク
DLC膜 DLCマク
摩擦係数 マサツケイスウ
摩耗挙動 マモウキヨドウ
密着強度 ミツチヤクキヨウド