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プラズマCVDによるダイヤモンド状薄膜被覆材の摩擦・摩耗特性の評価

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プラズマCVDによるダイヤモンド状薄膜被覆材の摩擦・摩耗特性の評価

Call No. (NDL)
Y151-H07650105
Bibliographic ID of National Diet Library
000007006908
Material type
図書
Author
村上, 理一, 徳島大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プラズマ CVD ニ ヨル ダイヤモンドジョウ ハクマク ヒフクザイ ノ マサツ ・ マモウ トクセイ ノ ヒョウカ
Author/Editor
村上, 理一, 徳島大学
Author Heading
村上, 理一 ムラカミ, リイチ
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
プラズマCVD プラズマCVD
イオンプレーテイング イオンプレーテイング
セラミツク薄膜 セラミツクハクマク
DLC膜 DLCマク
摩擦係数 マサツケイスウ
摩耗挙動 マモウキヨドウ
密着強度 ミツチヤクキヨウド