微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化

• 資料種別: 図書
• タイトル: 微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化
• タイトルよみ: ビリュウシガタ マイクロ アツリョク センサー ノ キバン ケンキュウ オヨビ カコウ プロセス ケンキュウ ヘ ノ ジツヨウカ
• 著者・編者: 小寺, 秀俊, 京都大学
• 著者標目: 著者 ： 小寺, 秀俊 コテラ, ヒデトシ ( 01228602 )典拠
• 出版年月日等: 1995-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 圧力センサー アツリヨクセンサー; マイクロマシン マイクロマシン; 圧電 アツデン; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; ZnO薄膜 ZNOハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07650306
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07650306
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007007016; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007016
• 整理区分コード: 214