微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化

• Material Type: 図書
• Title: 微粒子型マイクロ圧力センサーの基盤研究及び加工プロセス研究への実用化
• Title Transcription: ビリュウシガタ マイクロ アツリョク センサー ノ キバン ケンキュウ オヨビ カコウ プロセス ケンキュウ ヘ ノ ジツヨウカ
• Author/Editor: 小寺, 秀俊, 京都大学
• Author Heading: 著者 ： 小寺, 秀俊 コテラ, ヒデトシ ( 01228602 )Authorities
• Publication Date: 1995-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 圧力センサー アツリヨクセンサー; マイクロマシン マイクロマシン; 圧電 アツデン; ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク; ZnO薄膜 ZNOハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650306
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650306
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007007016; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007016
• Bibliographic Record Category (NDL): 214