書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カイメン セイギョ シタ サンカブツ ハクマク ノ シリコン キバン ジョウ ヘ ノ ヘテロエピタキシヤル セイチョウ
- 著者・編者
- 堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
- 著者標目
- 堀田, 將 ホリタ, ススム
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 一般研究(C)
- 件名標目
- イツトリア安定化ジルコニア イツトリアアンテイカジルコニアシリコン シリコンヘテロエピタキシヤル成長 ヘテロエピタキシヤルセイチヨウ反応性スパツタ ハンノウセイスパツタスパツタリング スパツタリング誘電体 ユウデンタイ