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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- タテ ジカイ インカ ドウジク センロケイ マイクロハ プラズマ CVD ソウチ ノ カイハツ ト セイマク キコウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 加藤, 勇, 早稲田大学
- 著者標目
- 加藤, 勇 カトウ, イサム
- 出版年月日等
- 1995-1996
- 出版年（W3CDTF）
- 1995
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ直流磁界 チヨクリユウジカイ電子密度 デンシミツドa-Si: H A-SI: Hプラズマの安定化 プラズマノアンテイカ高速堆積 コウソクタイセキ横方向への拡散の抑制 ヨコホウコウヘノカクサンノヨクセイ空間的アフターグロープラズマ クウカンテキアフターグロープラズマ