縦磁界印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置の開発と成膜機構の研究

• Material Type: 図書
• Title: 縦磁界印加同軸線路形マイクロ波プラズマCVD装置の開発と成膜機構の研究
• Title Transcription: タテ ジカイ インカ ドウジク センロケイ マイクロハ プラズマ CVD ソウチ ノ カイハツ ト セイマク キコウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 加藤, 勇, 早稲田大学
• Author Heading: 加藤, 勇 カトウ, イサム
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; 直流磁界 チヨクリユウジカイ; 電子密度 デンシミツド; a-Si: H A-SI: H; プラズマの安定化 プラズマノアンテイカ; 高速堆積 コウソクタイセキ; 横方向への拡散の抑制 ヨコホウコウヘノカクサンノヨクセイ; 空間的アフターグロープラズマ クウカンテキアフターグロープラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650383
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650383
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007007058; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007058
• Bibliographic Record Category (NDL): 214