Search by Bookstore
Search by Bookstore
Bibliographic Record
You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.
- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タテ ジカイ インカ ドウジク センロケイ マイクロハ プラズマ CVD ソウチ ノ カイハツ ト セイマク キコウ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 加藤, 勇, 早稲田大学
- Author Heading
- 加藤, 勇 カトウ, イサム
- Publication Date
- 1995-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ直流磁界 チヨクリユウジカイ電子密度 デンシミツドa-Si: H A-SI: Hプラズマの安定化 プラズマノアンテイカ高速堆積 コウソクタイセキ横方向への拡散の抑制 ヨコホウコウヘノカクサンノヨクセイ空間的アフターグロープラズマ クウカンテキアフターグロープラズマ