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電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究

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電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H07650398
国立国会図書館書誌ID
000007007068
資料種別
図書
著者
山本, 節夫, 山口大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
デンシ サイクロトロン キョウメイ スパツタセイマクホウ オ モチイタ チョウコウミツド ジキ キロク バイタイ ノ サクセイホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
山本, 節夫, 山口大学
著者標目
山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
磁気記録 ジキキロク
垂直磁気記録 スイチヨクジキキロク
磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ
電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ
スパツタリング スパツタリング
コバルト・クロム コバルト・クロム
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ