電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究
• タイトルよみ: デンシ サイクロトロン キョウメイ スパツタセイマクホウ オ モチイタ チョウコウミツド ジキ キロク バイタイ ノ サクセイホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 山本, 節夫, 山口大学
• 著者標目: 山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 磁気記録 ジキキロク; 垂直磁気記録 スイチヨクジキキロク; 磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ; 電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ; スパツタリング スパツタリング; コバルト・クロム コバルト・クロム; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07650398
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07650398
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007007068; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007068
• 整理区分コード: 214