電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究

• Material Type: 図書
• Title: 電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究
• Title Transcription: デンシ サイクロトロン キョウメイ スパツタセイマクホウ オ モチイタ チョウコウミツド ジキ キロク バイタイ ノ サクセイホウ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 山本, 節夫, 山口大学
• Author Heading: 山本, 節夫 ヤマモト, セツオ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 磁気記録 ジキキロク; 垂直磁気記録 スイチヨクジキキロク; 磁気記録媒体 ジキキロクバイタイ; 電子サイクロトロン共鳴 デンシサイクロトロンキヨウメイ; スパツタリング スパツタリング; コバルト・クロム コバルト・クロム; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07650398
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07650398
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007007068; http://id.ndl.go.jp/bib/000007007068
• Bibliographic Record Category (NDL): 214