新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
• タイトルよみ: アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ
• 著者・編者: 豊田, 浩孝, 名古屋大学
• 著者標目: 豊田, 浩孝 トヨタ, ヒロタカ
• 出版年月日等: 1995-1996
• 出版年（W3CDTF）: 1995
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; 誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ; 出現質量分析法 シユツゲンシツリヨウブンセキホウ; 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; 紫外透過分光法 シガイトウカブンコウホウ; ラジカル計測 ラジカルケイソク; 低温形成 テイオンケイセイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 07680505
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H07680505
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007009708; http://id.ndl.go.jp/bib/000007009708
• 整理区分コード: 214