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新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

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新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

国立国会図書館請求記号
Y151-H07680505
国立国会図書館書誌ID
000007009708
資料種別
図書
著者
豊田, 浩孝, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1995-1996
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ
著者・編者
豊田, 浩孝, 名古屋大学
著者標目
豊田, 浩孝 トヨタ, ヒロタカ
出版年月日等
1995-1996
出版年(W3CDTF)
1995
数量
その他のタイトル
研究種目 一般研究(C)
件名標目
アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン
誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ
出現質量分析法 シユツゲンシツリヨウブンセキホウ
多結晶シリコン タケツシヨウシリコン
紫外透過分光法 シガイトウカブンコウホウ
ラジカル計測 ラジカルケイソク
低温形成 テイオンケイセイ