新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

• Material Type: 図書
• Title: 新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
• Title Transcription: アタラシイ ラジカル ケイソクホウ ニ ヨル シランケイ プラズマ ノ シンダン ト セイギョ
• Author/Editor: 豊田, 浩孝, 名古屋大学
• Author Heading: 豊田, 浩孝 トヨタ, ヒロタカ
• Publication Date: 1995-1996
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; 誘導結合プラズマ ユウドウケツゴウプラズマ; 出現質量分析法 シユツゲンシツリヨウブンセキホウ; 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; 紫外透過分光法 シガイトウカブンコウホウ; ラジカル計測 ラジカルケイソク; 低温形成 テイオンケイセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07680505
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07680505
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007009708; http://id.ndl.go.jp/bib/000007009708
• Bibliographic Record Category (NDL): 214