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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ラジカル セイギョ オ モチイタ ヒョウメン ハンノウ カテイ オヨビ ハクマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 後藤, 俊夫, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 ： 後藤, 俊夫, 1941- ゴトウ, トシオ, 1941- ( 00292248 )典拠
- 出版年月日等
- 1996-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(A)
- 件名標目
- プラズマ プラズマCVD CVDラジカル ラジカル多結晶シリコン タケツシヨウシリコンアモルフアスシリコン アモルフアスシリコン赤外半導体レーザ吸収分光法 セキガイハンドウタイレーザキユウシユウブンコウホウプロセス プロセスFT-IR FT-IR