書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。
- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- スイソ シュウ タン Si ヒョウメン ノ メゾスコピツク シュウキ コウゾウ ノ ジコ ソシキカ ト ハンノウ トクイセイ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 高萩, 隆行, 広島大学
- 著者標目
- 高萩, 隆行 タカハギ, タカユキ
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- 平坦化処理 ヘイタンカシヨリステツプ/テラス構造 ステツプ/テラスコウゾウ自己組織化 ジコソシキカUHV-STM UHV-STM水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメン微傾斜研磨表面 ビケイシヤケンマヒヨウメン