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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- スイソ シュウ タン Si ヒョウメン ノ メゾスコピツク シュウキ コウゾウ ノ ジコ ソシキカ ト ハンノウ トクイセイ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 高萩, 隆行, 広島大学
- Author Heading
- 高萩, 隆行 タカハギ, タカユキ
- Publication Date
- 1996-1997
- Publication Date (W3CDTF)
- 1996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(B)
- Subject Heading
- 平坦化処理 ヘイタンカシヨリステツプ/テラス構造 ステツプ/テラスコウゾウ自己組織化 ジコソシキカUHV-STM UHV-STM水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメン微傾斜研磨表面 ビケイシヤケンマヒヨウメン