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水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究

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水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究

Call No. (NDL)
Y151-H08455021
Bibliographic ID of National Diet Library
000007011705
Material type
図書
Author
高萩, 隆行, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1996-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソ シュウ タン Si ヒョウメン ノ メゾスコピツク シュウキ コウゾウ ノ ジコ ソシキカ ト ハンノウ トクイセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
高萩, 隆行, 広島大学
Author Heading
高萩, 隆行 タカハギ, タカユキ
Publication Date
1996-1997
Publication Date (W3CDTF)
1996
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
平坦化処理 ヘイタンカシヨリ
ステツプ/テラス構造 ステツプ/テラスコウゾウ
自己組織化 ジコソシキカ
UHV-STM UHV-STM
水素終端シリコン表面 スイソシユウタンシリコンヒヨウメン
微傾斜研磨表面 ビケイシヤケンマヒヨウメン