シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究
• タイトルよみ: シリコンタンケッショウ カラ ナル ビサイ 3 ジゲン コウゾウタイ カコウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 佐藤, 一雄, 名古屋大学
• 著者標目: 著者 ： 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: シリコン シリコン; 異方性エツチング イホウセイエツチング; 水酸化カリウム (KOH) スイサンカカリウム (KOH); TMAH TMAH; エツチング速度 エツチングソクド; 面粗さ メンアラサ; プロセスシミユレーシヨン プロセスシミユレーシヨン; マイクロマシン マイクロマシン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455045
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455045
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007011727; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011727
• 整理区分コード: 214