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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコンタンケッショウ カラ ナル ビサイ 3 ジゲン コウゾウタイ カコウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐藤, 一雄, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 : 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年(W3CDTF)
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- シリコン シリコン異方性エツチング イホウセイエツチング水酸化カリウム (KOH) スイサンカカリウム (KOH)TMAH TMAHエツチング速度 エツチングソクド面粗さ メンアラサプロセスシミユレーシヨン プロセスシミユレーシヨンマイクロマシン マイクロマシン