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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シリコンタンケッショウ カラ ナル ビサイ 3 ジゲン コウゾウタイ カコウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐藤, 一雄, 名古屋大学
- 著者標目
- 著者 ： 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
- 出版年月日等
- 1996-1997
- 出版年（W3CDTF）
- 1996
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(B)
- 件名標目
- シリコン シリコン異方性エツチング イホウセイエツチング水酸化カリウム (KOH) スイサンカカリウム (KOH)TMAH TMAHエツチング速度 エツチングソクド面粗さ メンアラサプロセスシミユレーシヨン プロセスシミユレーシヨンマイクロマシン マイクロマシン
- NDLC
- 一般注記
- 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
- 科研費課題番号
- 08455045
- 所蔵機関
- 国立国会図書館
- 請求記号
- Y151-H08455045
- 連携機関・データベース
- 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
- 書誌ID（NDLBibID）
- 000007011727
- 整理区分コード
- 214