シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

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Material Type: 図書
Title: シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究
Title Transcription: シリコンタンケッショウカラナルビサイ 3 ジゲンコウゾウタイカコウノケンキュウ
Author/Editor: 佐藤, 一雄, 名古屋大学
Author Heading: 著者：佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )Authorities
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: シリコンシリコン
異方性エツチングイホウセイエツチング
水酸化カリウム (KOH) スイサンカカリウム (KOH)
TMAH TMAH
エツチング速度エツチングソクド
面粗さメンアラサ
プロセスシミユレーシヨンプロセスシミユレーシヨン
マイクロマシンマイクロマシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455045
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455045
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011727
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011727
Bibliographic Record Category (NDL): 214