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3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究

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3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H08455066
国立国会図書館書誌ID
000007011748
資料種別
図書
著者
厨川, 常元, 東北大学
出版者
-
出版年
1996-1997
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
3 ジゲン ビサイ ケイジョウ ソウセイ ノ タメ ノ デンキ ネンセイ リュウタイ エンヨウ チョウセイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
著者・編者
厨川, 常元, 東北大学
著者標目
厨川, 常元 クリヤカワ, ツネモト
出版年月日等
1996-1997
出版年(W3CDTF)
1996
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
件名標目
電気粘性流体 デンキネンセイリユウタイ
研磨 ケンマ
微小加工 ビシヨウカコウ
ER効果 ERコウカ
砥粒 トリユウ
微小工具 ビシヨウコウグ
FFF FFF