有機シリコンからの高品質ワイドギヤツプ半導体の創成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 有機シリコンからの高品質ワイドギヤツプ半導体の創成
• タイトルよみ: ユウキ シリコン カラ ノ コウヒンシツ ワイドギヤツプ ハンドウタイ ノ ソウセイ
• 著者・編者: 畑中, 義式, 静岡大学
• 著者標目: 畑中, 義式 ハタナカ, ヨシノリ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 有機シリコン ユウキシリコン; リモートプラズマ リモートプラズマ; シリコンカーバイド薄膜 シリコンカーバイドハクマク; ヘキサメチルジシラン ヘキサメチルジシラン; SiN薄膜 SINハクマク; 水素ラジカル反応 スイソラジカルハンノウ; プラズマCVD プラズマCVD; 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455140
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455140
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007011818; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011818
• 整理区分コード: 214