有機シリコンからの高品質ワイドギヤツプ半導体の創成

• Material Type: 図書
• Title: 有機シリコンからの高品質ワイドギヤツプ半導体の創成
• Title Transcription: ユウキ シリコン カラ ノ コウヒンシツ ワイドギヤツプ ハンドウタイ ノ ソウセイ
• Author/Editor: 畑中, 義式, 静岡大学
• Author Heading: 畑中, 義式 ハタナカ, ヨシノリ
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 有機シリコン ユウキシリコン; リモートプラズマ リモートプラズマ; シリコンカーバイド薄膜 シリコンカーバイドハクマク; ヘキサメチルジシラン ヘキサメチルジシラン; SiN薄膜 SINハクマク; 水素ラジカル反応 スイソラジカルハンノウ; プラズマCVD プラズマCVD; 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455140
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08455140
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007011818; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011818
• Bibliographic Record Category (NDL): 214