完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究
• タイトルよみ: カンゼン ジコ セイゴウ メタライゼーシヨン チョウコウソク CMOS ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 横山, 道央, 東北大学
• 著者標目: 横山, 道央 ヨコヤマ, ミチオ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 自己整合 ジコセイゴウ; メタライゼーシヨン メタライゼーシヨン; 選択AICVD センタクAICVD; 寄生抵抗 キセイテイコウ; シリサイド シリサイド; TiNバリア TINバリア; プラズマ窒化 プラズマチツカ; MOSFET MOSFET
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455157
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455157
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007011834; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011834
• 整理区分コード: 214