完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究

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Material Type: 図書
Title: 完全自己整合メタライゼーシヨン超高速CMOSの研究
Title Transcription: カンゼンジコセイゴウメタライゼーシヨンチョウコウソク CMOS ノケンキュウ
Author/Editor: 横山, 道央, 東北大学
Author Heading: 横山, 道央ヨコヤマ, ミチオ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: 自己整合ジコセイゴウ
メタライゼーシヨンメタライゼーシヨン
選択AICVD センタクAICVD
寄生抵抗キセイテイコウ
シリサイドシリサイド
TiNバリア TINバリア
プラズマ窒化プラズマチツカ
MOSFET MOSFET
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455157
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455157
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011834
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011834
Bibliographic Record Category (NDL): 214