SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究
• タイトルよみ: SOI コウゾウ ニ オケル サンカ メカニズム ノ カイメイ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 平本, 俊郎, 東京大学
• 著者標目: 平本, 俊郎 ヒラモト, トシロウ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: SOI SOI; 界面準位 カイメンジユンイ; MOSFET MOSFET; チヤージポンピング チヤージポンピング; 酸化 サンカ; 酸化膜界面 サンカマクカイメン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455161
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455161
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007011838; http://id.ndl.go.jp/bib/000007011838
• 整理区分コード: 214