SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究

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Material Type: 図書
Title: SOI構造における酸化メカニズムの解明に関する研究
Title Transcription: SOI コウゾウニオケルサンカメカニズムノカイメイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 平本, 俊郎, 東京大学
Author Heading: 平本, 俊郎ヒラモト, トシロウ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: SOI SOI
界面準位カイメンジユンイ
MOSFET MOSFET
チヤージポンピングチヤージポンピング
酸化サンカ
酸化膜界面サンカマクカイメン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455161
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455161
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007011838
http://id.ndl.go.jp/bib/000007011838
Bibliographic Record Category (NDL): 214