(Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御

• 資料種別: 図書
• タイトル: (Ti,Al)NのCVD成膜における移動現象と膜組成制御
• タイトルよみ: (Ti,Al)N ノ CVD セイマク ニ オケル イドウ ゲンショウ ト マク ソセイ セイギョ
• 著者・編者: 菊池, 淳, 東北大学
• 著者標目: 菊池, 淳 キクチ, アツシ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: 窒化チタン チツカチタン; 窒化アルミニウム チツカアルミニウム; 複合膜 フクゴウマク; 化学気相析出 カガクキソウセキシユツ; 膜組成 マクソセイ; 成膜連度 セイマクレンド; 化学物相 カガクモツソウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455343
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455343
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007012010; http://id.ndl.go.jp/bib/000007012010
• 整理区分コード: 214