金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

• 資料種別: 図書
• タイトル: 金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD
• タイトルよみ: キンゾク オ ドープ シタ ハンドウタイセイ DLC マク ノ ナノスケール セイギョ プラズマ CVD
• 著者・編者: 高井, 治, 名古屋大学
• 著者標目: 高井, 治 タカイ, オサム
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 件名標目: ダイヤモンドライクカーボン ダイヤモンドライクカーボン; プラズマCVD プラズマCVD; 金属元素ドープ キンゾクゲンソドープ; 有機金属化合物 ユウキキンゾクカゴウブツ; X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ; 電気抵抗率 デンキテイコウリツ; 光透過率 ヒカリトウカリツ; スパツタリング スパツタリング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08455346
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08455346
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007012013; http://id.ndl.go.jp/bib/000007012013
• 整理区分コード: 214