金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

• Material Type: 図書
• Title: 金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD
• Title Transcription: キンゾク オ ドープ シタ ハンドウタイセイ DLC マク ノ ナノスケール セイギョ プラズマ CVD
• Author/Editor: 高井, 治, 名古屋大学
• Author Heading: 高井, 治 タカイ, オサム
• Publication Date: 1996-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1996
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: ダイヤモンドライクカーボン ダイヤモンドライクカーボン; プラズマCVD プラズマCVD; 金属元素ドープ キンゾクゲンソドープ; 有機金属化合物 ユウキキンゾクカゴウブツ; X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ; 電気抵抗率 デンキテイコウリツ; 光透過率 ヒカリトウカリツ; スパツタリング スパツタリング
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455346
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H08455346
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007012013; http://id.ndl.go.jp/bib/000007012013
• Bibliographic Record Category (NDL): 214