金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD

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Material Type: 図書
Title: 金属をドープした半導体性DLC膜のナノスケール制御プラズマCVD
Title Transcription: キンゾクオドープシタハンドウタイセイ DLC マクノナノスケールセイギョプラズマ CVD
Author/Editor: 高井, 治, 名古屋大学
Author Heading: 高井, 治タカイ, オサム
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Subject Heading: ダイヤモンドライクカーボンダイヤモンドライクカーボン
プラズマCVD プラズマCVD
金属元素ドープキンゾクゲンソドープ
有機金属化合物ユウキキンゾクカゴウブツ
X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ
電気抵抗率デンキテイコウリツ
光透過率ヒカリトウカリツ
スパツタリングスパツタリング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08455346
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08455346
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007012013
http://id.ndl.go.jp/bib/000007012013
Bibliographic Record Category (NDL): 214