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図書
次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
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次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
国立国会図書館請求記号
Y151-H08505001
国立国会図書館書誌ID
000007013202
資料種別
図書
著者
安田, 幸夫, 名古屋大学
出版者
-
出版年
1996-1998
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
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書誌情報
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紙
資料種別
図書
タイトル
次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
タイトルよみ
ジセダイ ULSI ヨウ チョウテイテイコウ コンタクト ザイリョウ ノ カイハツ
著者・編者
安田, 幸夫, 名古屋大学
著者標目
安田, 幸夫
ヤスダ, ユキオ
出版年月日等
1996-1998
出版年(W3CDTF)
1996
数量
冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(A)
件名標目
Coシリサイド
COシリサイド
シヨツトキコンタクト特性
シヨツトキコンタクトトクセイ
シヨツトキ障壁高さ
シヨツトキシヨウヘキタカサ
界面固相反応
カイメンコソウハンノウ
コンタクト抵抗率
コンタクトテイコウリツ
NDLC
Y151
一般注記
文部省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
08505001
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H08505001
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007013202
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013202
整理区分コード
214
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