次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発

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Material Type: 図書
Title: 次世代ULSI用超低抵抗コンタクト材料の開発
Title Transcription: ジセダイ ULSI ヨウチョウテイテイコウコンタクトザイリョウノカイハツ
Author/Editor: 安田, 幸夫, 名古屋大学
Author Heading: 安田, 幸夫ヤスダ, ユキオ
Publication Date: 1996-1998
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: Coシリサイド COシリサイド
シヨツトキコンタクト特性シヨツトキコンタクトトクセイ
シヨツトキ障壁高さシヨツトキシヨウヘキタカサ
界面固相反応カイメンコソウハンノウ
コンタクト抵抗率コンタクトテイコウリツ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08505001
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08505001
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007013202
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013202
Bibliographic Record Category (NDL): 214