新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用
• タイトルよみ: アタラシイ フクゴウガタ スイソ ヒョウカ シュホウ ノ カイハツ ト ハンドウタイ ザイリョウ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 尾浦, 憲治郎, 大阪大学
• 著者標目: 尾浦, 憲治郎 オウラ, ケンジロウ
• 出版年月日等: 1996-1997
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: 表面水素 ヒヨウメンスイソ; 界面水素 カイメンスイソ; イオンビーム イオンビーム; スパツタリング スパツタリング; 複合水素分析 フクゴウスイソブンセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555009
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555009
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013255; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013255
• 整理区分コード: 214