新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用

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Material Type: 図書
Title: 新しい複合型水素評価手法の開発と半導体材料への応用
Title Transcription: アタラシイフクゴウガタスイソヒョウカシュホウノカイハツトハンドウタイザイリョウヘノオウヨウ
Author/Editor: 尾浦, 憲治郎, 大阪大学
Author Heading: 尾浦, 憲治郎オウラ, ケンジロウ
Publication Date: 1996-1997
Publication Date (W3CDTF): 1996
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Subject Heading: 表面水素ヒヨウメンスイソ
界面水素カイメンスイソ
イオンビームイオンビーム
スパツタリングスパツタリング
複合水素分析フクゴウスイソブンセキ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 08555009
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H08555009
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007013255
http://id.ndl.go.jp/bib/000007013255
Bibliographic Record Category (NDL): 214