プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発
• タイトルよみ: プラズマプロセス ニ オケル サブナノ リュウシ ノ ソノ バ ソクテイホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 渡辺, 征夫, 九州大学
• 著者標目: 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
• 出版年月日等: 1996-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1996
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 件名標目: クラスター クラスター; 微粒子 ビリユウシ; ダスト ダスト; 光電子放出 コウデンシホウシユツ; 光電離 ヒカリデンリ; 光脱離 ヒカリダツリ; シリコン シリコン; シランプラズマ シランプラズマ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 08555019
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H08555019
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007013264; http://id.ndl.go.jp/bib/000007013264
• 整理区分コード: 214